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pp电子·(中国)官方网站|夜间做运动视频声音|极端制造｜自适应光束整形技术突破

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　　研究团队提出一种自适应光束整形方法（如图1所示）◈◈◈，通过建立结合“光束传输衍射”与“偏振相关能量吸收率”的激光烧蚀轮廓演化模型◈◈◈，精准预测微槽形貌并用于指导光斑形状迭代优化◈◈◈。在仿真模型中◈◈◈，根据仿真轮廓与目标轮廓的差异动态调整光束形状◈◈◈，经动态微调后的光斑◈◈◈，可在加工宽度为10 μm的微槽时pp电子·(中国)官方网站◈◈◈，保证其轮廓均方根误差低至0.5 μm（如图2和图3所示）◈◈◈。自适应光束整形结合激光直写技术◈◈◈，成功实现了三角形◈◈◈、梯形及函数化曲面微结构的高精度加工（如图3所示）◈◈◈。该技术为难加工材料的微槽加工提供了新策略◈◈◈，同时为高精度微结构在工业领域的应用开辟了创新路径◈◈◈。

　　图2自适应光束整形技术对结构轮廓精度的提升效果◈◈◈。（a）和（c）分别为浅槽/深槽的SEM横截面图◈◈◈，插图展示了初始（上）与优化后（下）的激光光斑形态pp电子·(中国)官方网站◈◈◈。（b）和（d）对应浅槽/深槽的轮廓分析◈◈◈，包含截面轮廓（上）与偏差分布（下）◈◈◈。黑色曲线对应（a）（c）中初始激光光斑的加工结果◈◈◈，红色曲线则展示采用（a）（c）优化光斑后的效果◈◈◈。两者均与目标轮廓（蓝色曲线）进行对比◈◈◈，表明优化后加工精度得到显著提升◈◈◈。

　　图3控形能力验证和不同横截面轮廓的偏差分析◈◈◈。（a）三角形（b）梯形（c）半圆形（d）U 形◈◈◈。从左至右分别为◈◈◈：微沟槽的SEM图像（插图为优化后的激光光斑插图）◈◈◈、实验轮廓与目标轮廓的对比◈◈◈、以及轮廓偏差的统计分析◈◈◈。

　　该方法已经在单晶碳化硅材料上得到了验证◈◈◈，未来团队将继续探究该方法的材料适用性◈◈◈，例如金刚石◈◈◈、蓝宝石◈◈◈、陶瓷等材料的加工有效性◈◈◈；并针对整形激光烧蚀沟槽的深宽极限◈◈◈、形状极限展开研究◈◈◈，尤其是探究该方法加工垂直侧壁微沟槽结构的可能性◈◈◈，以满足更广泛的激光制造需求◈◈◈。

　　徐少林夜间做运动视频声音◈◈◈，日本东北大学工学博士◈◈◈，现任南方科技大学长聘副教授/超快激光微纳制造团队负责人◈◈◈，主要从事超快激光精密/微纳加工技术及装备研究◈◈◈。首次提出激光诱导周期性纳米结构自对准制造◈◈◈、逐像素偏振调制图案化激光光刻等技术◈◈◈，实现了大面积纳米结构图案化高效制造◈◈◈；开发了自适应整形激光烧蚀和整形激光改性辅助蚀刻等技术◈◈◈，应用于高性能结构化元器件制造（TGV玻璃基板◈◈◈、光纤阵列FApp电子·(中国)官方网站◈◈◈、全玻璃超构透镜◈◈◈、半导体/玻璃晶圆高质量表切◈◈◈、隐切及轮廓切割等）◈◈◈，与企业共建“激光精密制造与芯片先进封装”校企联合实验室夜间做运动视频声音夜间做运动视频声音pp电子·(中国)官方网站◈◈◈。近年来以通讯作者身份发表高水平学术论文40余篇◈◈◈，包含International Journal of Machine Tools and Manufacture（3）◈◈◈，International Journal of Extreme Manufacturing（2）◈◈◈，Nature Communications◈◈◈，Opticapp电子·(中国)官方网站◈◈◈，Laser & Photonics Reviews（2）◈◈◈，Nano Letters◈◈◈，Advanced Functional Materials（3）◈◈◈，Opto-Electronic Advances等领域内的顶级期刊◈◈◈，主持国家省市级及企业横向项目15项◈◈◈。

　　International Journal of Extreme Manufacturing(《极端制造》）◈◈◈，简称IJEM◈◈◈，中国机械工程学会极端制造分会会刊◈◈◈，致力于发表极端制造领域相关的高质量最新研究成果◈◈◈。自2019年创刊至今◈◈◈，期刊陆续被SCIE◈◈◈、EI◈◈◈、Scopus等20余个国际数据库收录◈◈◈。JCR最新影响因子21.3pp电子·(中国)官方网站◈◈◈，位列工程/制造学科领域第一◈◈◈。中科院分区工程技术1区◈◈◈，TOP期刊◈◈◈。入选中国科技期刊卓越行动计划二期英文领军期刊夜间做运动视频声音◈◈◈。

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